Как разработать решения для защиты от-статики и осадков-бесплатной обработки гранитных столов оборудования для контроля пластин

Передовое оборудование для проверки пластин устанавливает строгие наноразмерные стандарты в отношении чистоты подложек и статического контроля. Без специальной обработки обычные гранитные столешницы создают две основные промышленные проблемы: статический заряд накапливается в результате трения, и мгновенный разряд разрушает сверх-тонкие конструкции затвора, вызывая массовое разрушение пластин; растворимые ионы металлов внутри камня постепенно выщелачиваются, загрязняя оптические пути и схемы микросхем, вызывая короткие замыкания и темные пятна. Большинство поставщиков камня проводят только простую полировку без комплексной анти-статической и низко-обработки ионами, что не соответствует стандартам ISO класса 5/6 для чистых помещений для проверки пластин. Являясь эталонным производителем гранита для чистых помещений-для полупроводников, компания UNPARALLELED® использует эксклюзивную низко-черную гранитную руду премиум-класса, чистые производственные линии класса 10 000 с постоянной-температурой и специализированную лабораторию по тестированию полупроводников для создания стандартизированного интегрированного анти-антистатического и-технологического решения, блокирующего ионы. Полный-управление процессом, охватывающее проверку сырья, прецизионную механическую обработку, модификацию поверхности, герметизирующее покрытие и заводской контроль, удовлетворяет требованиям как по рассеянию статического электричества, так и по-нулевому выщелачиванию ионов, предоставляя совместимые решения в области подложек для машин AOI, зондовых станций и платформ оптического контроля.
Передняя-сортировка сырья формирует основу для ограничения ионных осадков в источнике. Гранит вафельного-сорта, производимый компанией, добывается из однородных рудных жил высшего качества. Минералы, склонные к растворимым солям металлов, такие как полевой шпат и слюда, удаляются во время добычи. Поступающая руда проходит испытания на предварительное ионное выщелачивание, при этом принимаются только партии, имеющие низкий уровень ионов натрия, калия, железа и меди. Его естественное водопоглощение контролируется на уровне ниже 0,08% с минимальными микрокапиллярными порами. В отличие от обычного машинного-инструментального гранита, весь камень для вафельного оборудования проходит 7-предварительную обработку-вымачиванием в чистой воде для растворения свободных растворимых ионов внутри перед сушкой и обработкой, что исключает долговременное-ионное загрязнение в чистых цехах. Сырьевые материалы также проходят проверку статических характеристик для отбраковки партий, богатых проводящими примесями, склонными к накоплению заряда, что снижает трудности при последующей антистатической модификации.
Сегментированная чистая прецизионная обработка позволяет добиться сверх-гладких поверхностей с низким содержанием пыли и ионов. Все процедуры выполняются в закрытой мастерской с постоянной-температурой и влажностью класса чистоты 10 000, чтобы избежать попадания внешних примесей в поры камня. Алмазные абразивы, не содержащие металлов-, используются для грубого, тонкого шлифования и нанополировки для предотвращения загрязнения инородными частицами железа и алюминия. Деионизированная вода полупроводниковой-высокой-чистоты без солей и поверхностно-активных веществ служит охлаждающей жидкостью, предотвращая проникновение остатков ионов в зазоры между кристаллами. Нанополировка обеспечивает шероховатость поверхности Ra меньше или равную 0,05 мкм; Ультра-гладкая поверхность уменьшает трибоэлектрическую генерацию и прилипание пыли, одновременно сводя к минимуму выщелачивание ионов, вызванное удержанием влаги. Заготовки после-обработки проходят трехэтапную-ультразвуковую очистку чистой водой для удаления остаточных абразивов и микроионов, после чего следует-высокотемпературная сушка без пыли-и герметичное хранение во избежание вторичного загрязнения.
Основа решения — процесс нанесения композитного покрытия с двойным-эффектом, обеспечивающий долговременное-рассеивание статического электричества и эффективность ионного барьера. Отказавшись от одиночных антистатических покрытий, известных своим ионным выщелачиванием и плохой износостойкостью, компания UNPARALLELED самостоятельно-разрабатывает низко-систему герметизации, рассеивающую статический заряд, наносимую в два отвержденных слоя: нижний ионный барьерный герметик полностью заполняет микромежкристаллические промежутки, образуя плотную изолирующую пленку и блокируя внутренний отток ионов металла; верхнее покрытие из наноуглеродной трубки, рассеивающее статическое электричество, не содержит металлических проводящих наполнителей, что позволяет избежать дополнительного ионного загрязнения, поддерживает стабильное поверхностное сопротивление 10⁷~10⁸Ом в соответствии со стандартами ESD для чистых помещений, что позволяет аккуратно снимать статический заряд без мгновенного разряда высокого-напряжения. Покрытие с низким-выделением силикона-выдерживает многократное протирание тканью для чистых помещений и кислотными-щелочными моющими средствами, устойчиво к мелению и отслаиванию, что позволяет избежать попадания частиц на пластины. Покрытие отверждается сегментированными циклами внутри чистой камеры с постоянной-температурой, чтобы снять внутреннее напряжение и предотвратить растрескивание.
Стандартизированные интегрированные структуры заземления оптимизируют оборудование для снятия статического заряда и устраняют локальное накопление заряда. Специальные проводящие заземляющие основания предназначены для платформ проверки пластин со встроенными ионными-свободными проводящими контактами, плавно соединенными с покрытием, что обеспечивает равномерное сопротивление по всей поверхности стола без статических слепых зон. Изолированные влагонепроницаемые опоры внизу блокируют паразитные заряды земли и проникновение подземной влаги, что дополнительно подавляет выщелачивание ионов. Все заземляющие компоненты изготовлены из пассивированной нержавеющей стали, не содержащей оцинкованных или медных-деталей, что исключает риск осаждения ионов металлов.
Комплексная двойная-выходная проверка с полной отслеживаемостью соответствует строгим стандартам аудита поставщиков полупроводников. Каждый готовый гранитный стол вафельного-класса проходит два специализированных испытания:
Анти-статическое испытание: измерение сопротивления поверхности в нескольких-точках обеспечивает стабильное сопротивление в пределах стандартного диапазона без резких колебаний при высокой и низкой влажности;
Испытание на ионное выщелачивание: концентрация ионов металлов измеряется после 24-часового погружения в чистую воду, при этом количество вредных ионов намного ниже отраслевых пределов.
Полные метрологические испытания, охватывающие плоскостность, шероховатость, образование частиц и водопоглощение, проводятся одновременно. Все измерительные приборы прослеживаются до провинциальных метрологических институтов, а все данные испытаний постоянно хранятся под уникальным кодом отслеживания каждой детали. Отчеты испытаний CMA сторонних-лиц доступны по специальным запросам клиентов.
Благодаря двум интеллектуальным производственным базам площадью 200 000 м², тройной сертификации ISO, сертификации CE и многочисленным патентам на обработку камня в чистых помещениях, НЕПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ антистатические гранитные столешницы с низкими-ионами массово поставляются ведущим полупроводниковым фирмам, включая Samsung, Apple, Singapore STI и Akribis, и применяются на производственных линиях с высокой -чистотой, чувствительных к статическому-статическому заряду, для проверки пластин, пробных испытаний и оптическое обнаружение перовскита. Проверка клиента на месте показывает, что дефекты статического пробоя сокращаются на 92%, а брак пластин, вызванный ионным загрязнением, практически исключен, что значительно сокращает брак производства и частоту очистки оборудования. Компания постоянно сотрудничает с университетскими лабораториями полупроводниковых материалов, чтобы совершенствовать формулы покрытий, оптимизировать критерии отбора руды с низким-низким содержанием ионов и совершенствовать технологию обработки с двойной-защитой.
Поддерживая политику качества «Прецизионный бизнес не может быть слишком требовательным», стандартизированное анти-статическое и ионно-блокирующее- технологическое решение UNPARALLELED заполняет отраслевые пробелы в контроле подложек и устраняет две основные опасности, связанные с оборудованием для проверки пластин: загрязнение и статическое повреждение. В дальнейшем предприятие будет расширять линейку продукции из сверх-специального гранита, публиковать полные спецификации обработки полупроводниковых подложек, помогать мировым производителям микросхем стабилизировать производительность и снижать затраты на эксплуатацию в чистых помещениях, а также способствовать высококачественному-развитию передовых-полупроводниковых производств.