Постоянное развитие высокоточного-производства, оптического контроля АОИ, метрологии полупроводниковых пластин, координатно-измерительных машин и платформ линейных двигателей с воздушными-подшипниками предъявляет более высокие требования к точности для эталонных носителей. Черный гранит высокой-плотности стал основным эталонным материалом благодаря своим уникальным свойствам. Тем не менее, можно ли полностью использовать превосходные свойства необработанного камня, во многом зависит от процессов обработки поверхности. У многих покупателей возникают вопросы: взрывы гранита из одного и того же карьера после обработки создают эталонные платформы с совершенно разной точностью. Основное отличие заключается в сверхточной технологии притирки. Опираясь на многолетний опыт сверх-прецизионной обработки камня и оснащенные производственными линиями с постоянной-чистой температурой и влажностью класса 10 000, UNPARALLELED разрабатывает полную логику процесса того, как сверх-прецизионная притирка улучшает базовые плоскости гранита.
Грубое шлифование и обычное чистовое шлифование являются обычными основными методами обработки в промышленности и лишь формируют общий контур. При резке алмазными шлифовальными кругами на поверхности гранита остаются следы обработки, микро-волнистости и слои подповерхностных повреждений. Хотя визуально платформа выглядит плоской и гладкой, микровыступы и впадины будут мешать оптическим путям и работе ползунка с воздушным-подшипником в микронных и субмикронных рабочих условиях, что приводит к искажению изображения и повторяющимся ошибкам позиционирования. Такие самолеты годятся только для обычной автоматизированной техники. Для высокотехнологичного-оборудования, обслуживающего полупроводниковую и оптоэлектронную промышленность, традиционные методы шлифования имеют присущие ограничения по точности. Систематические процедуры сверх-точной притирки необходимы для преодоления таких ограничений. Микротрещины и экструзионные повреждения, возникшие при грубой обработке, скрыты под поверхностью гранита. Если постепенное снятие напряжения не будет удалено полностью, это будет постоянно ухудшать точность плоскостности при дальнейшем обслуживании. Сверх-прецизионная притирка отказывается от одноэтапной обработки и использует постепенное шлифование от грубого к мелкому абразиву. Зернистость абразивов для каждой процедуры строго соответствует производительности съема материала для полного устранения следов предыдущего процесса, пропуск любого этапа шлифовки запрещен. Специально подобранные абразивные материалы разработаны для плотной кристаллической структуры запатентованного черного гранита UNPARALLELED®, чтобы уменьшить точечные царапины, вызванные твердыми минеральными частицами. Стандартные циклы замены абразивов реализованы для предотвращения царапин на готовых поверхностях пассивированными абразивами и гарантируют одинаковое качество поверхности на платформах большого-формата.
Тепло и пыль — два невидимых препятствия для сверхточной-притирки. Тепло трения, выделяющееся во время шлифования, вызывает локальное микро-расширение гранита. Взвешенные в воздухе частицы, попавшие на контактную поверхность, оставят на камне необратимые царапины. Открытые мастерские страдают от сильных дневных-ночных колебаний температуры. Заготовки, подвергающиеся воздействию переменных температур во время обработки и транспортировки, после шлифования будут иметь временные отклонения в размерах. Компания UNPARALLELED располагает эксклюзивной закрытой мастерской класса 10 000 с постоянной-температурой и влажностью. Диапазон температурных колебаний строго контролируется, а очистка воздуха происходит непрерывно. Заготовки не перемещаются между зонами во время притирки, чтобы уменьшить деформацию, вызванную изменением температуры. Контроль температуры подавляет тепло трения во время шлифовки, гарантируя завершение отделки поверхности, когда гранит сохраняет стабильные размеры и сохраняет постоянную, аутентичную плоскую геометрию. Простая шлифовальная дорожка с возвратно-поступательным движением легко создает периодическую волнистость, приводящую к неравномерному удалению материала между центром и краями платформ, особенно для крупных монолитных гранитных компонентов. Мы используем планетарные композитные качающиеся шлифовальные пути для устранения регулярных дефектов текстуры. Между тем, зональное гибкое управление давлением реализуется в зависимости от размеров платформы, толщины пластины и отклонения, вызванного собственным-весом. Чрезмерное давление вызывает новые повреждения поверхности, а недостаточное давление не позволяет устранить микродефекты. Основываясь на многочисленных технологических испытаниях, мы создаем стандартизированную базу данных параметров для индивидуальных схем обработки, чтобы обеспечить постоянную плоскостность всей пластины, удовлетворяя производственным требованиям крупноформатных платформ AOI и эталонных платформ для проверки пластин.
Непрерывная экструзия при механическом шлифовании накапливает временное напряжение на поверхности гранита. Данные о прецизионности, измеренные сразу после шлифования, являются предварительными; показатели ровности будут меняться по мере постепенного снятия напряжения. В рамках всего процесса сверхточной притирки между каждым этапом обработки устанавливается статическая буферизация с постоянной-температурой, позволяющая полностью снять поверхностное напряжение перед последующей обрезкой. После всех процедур притирки детали оставляют неподвижными до полной стабилизации размеров перед комплексным контролем. Этот метод заранее выявляет потенциальные риски деформации и гарантирует, что платформы сохранят заданную плоскостность в течение длительного времени после доставки клиентам. О степени плоскостности нельзя судить только по значению плоскостности; шероховатость и волнистость являются критическими показателями. Некоторые платформы соответствуют стандартам плоскостности, но плохо справляются с волнистостью, что делает их несовместимыми с-оптическими системами высокого разрешения и приложениями с воздушными-подшипниками. Во время проверки готовой продукции в цехе используется метрологическое оборудование мирового-класса, включая Mahr, Renishaw и Mitutoyo, для проведения многоточечного отбора проб по всей-площади и комплексной проверки всех показателей. Все данные испытаний отслеживаются и соответствуют международным стандартам точности DIN и ASME. Только когда несколько индикаторов одновременно достигают стандартов, можно подтвердить, что платформа соответствует целевой степени плоскостности. Имея полную сертификацию тройной системы ISO, сертификаты CE и RoHS, мы сотрудничаем с университетами и метрологическими институтами по всему миру, чтобы проводить непрерывные исследования процессов и оптимизировать решения для притирки.
Сверхточная-притирка — это гораздо больше, чем просто увеличение времени шлифования. Он представляет собой интегрированную технологическую систему, сочетающую в себе выбор абразива, контроль окружающей среды, оптимизацию дорожек, снятие напряжений и прецизионный контроль, действуя в качестве основного драйвера для повышения степени плоскостности базовых плоскостей гранита. Обслуживая производителей высококачественного-оборудования по всему миру, компания UNPARALLELED продолжает оптимизировать процессы сверхточной притирки, уделяя особое внимание производству высоко-стабильных оптических метрологических- эталонных гранитных компонентов и поставке надежных эталонных решений для оптического контроля, метрологии полупроводников и прецизионного оборудования для автоматизации.