Гранитные основания с воздушными подшипниками обеспечивают сверх-стабильную опору для высокоточных-систем перемещения без трения, повышая точность позиционирования, повторяемость и гашение вибраций. Гранитные основания UNPARALLELED® с воздушными подшипниками предназначены для поддержки полупроводникового, оптического и автоматического оборудования, требующего управления движением на нано- уровне и исключительной стабильности системы.
Что такое воздушное несущее гранитное основание?
Ангранитное основание на воздушном подшипникесочетает в себе стабильность прецизионного гранита с технологией воздушных подшипников, которая удерживает движущиеся компоненты в тонком слое сжатого воздуха. Это исключает механический контакт, снижает трение, износ и вибрацию, обеспечивая при этом высокую-скорость и высокую-точность движения.
Почему важно движение без трения?
Трение приводит к нелинейным-линейным ошибкам, износу и нагреву движущихся систем. Используя воздушные подшипники на гранитном основании:
Движение плавное и повторяемое
Износ исключен.
Производительность системы сохраняется с течением времени
Основания на пневмоподшипниках UNPARALLELED® обеспечивают максимальную точность перемещения для сверх-прецизионных приложений.
Как гранит поддерживает стабильность?
Гранит обеспечивает стабильность размеров, гашение вибраций и жесткость. В сочетании с воздушными подшипниками:
Термический дрейф сведен к минимуму
Вибрации поглощаются естественным образом
Уменьшаются ошибки-высокочастотного движения.
Такое сочетание обеспечивает точность позиционирования на нанометровом-уровне в КИМ, оптических столиках и системах контроля полупроводников.
Воздушный подшипник против традиционных оснований подшипников
| Особенность | Гранитное основание с воздушным подшипником | Основание на шариковом/скользящем подшипнике | Чугунное основание |
|---|---|---|---|
| Трение | Около нуля | Умеренный | Умеренный |
| Носить | Минимальный | Умеренный | Высокий |
| Демпфирование вибрации | Отличный | Справедливый | Умеренный |
| Термическая стабильность | Отличный | Умеренный | Умеренный |
| Повторяемость | Нанометровый-уровень | Микронный-уровень | Микронный-уровень |
| Обслуживание | Низкий | Умеренный | Высокий |
| Срок службы | 20+ лет | 5–10 лет | 10–15 лет |
Какие приложения приносят больше всего пользы?
Проверка полупроводниковых пластин
Этапы литографии
Оптическая интерферометрия
Сверхточная-автоматизация
Высокоточные-измерения КИМ
Часто задаваемые вопросы
Что такое воздушное гранитное основание?
Это гранитная платформа с воздушными подшипниками, обеспечивающая движение без трения и с высокой-точностью.
Зачем комбинировать гранит с воздушными подшипниками?
Гранит обеспечивает жесткость и стабильность, а воздушные подшипники устраняют трение и износ.
Могут ли эти основы достичь повторяемости-уровня нанометра?
Да, правильно спроектированные основания UNPARALLELED® поддерживают движение нанометрового-уровня.
Подходят ли гранитные основания на воздушном подшипнике для движения на высоких-скоростях?
Да, воздушные подшипники обеспечивают плавное,-скоростное движение с минимальной погрешностью.
Требуют ли они обслуживания?
Требуется минимальное техническое обслуживание, в первую очередь для обеспечения подачи воздуха и чистоты.
В каких отраслях используются воздушные основания из гранита?
Полупроводники, оптика, прецизионная автоматизация, метрология и сверхточное-производство.