Гранитная квадратная коробка — решение для обеспечения точности при сборке полупроводникового оборудования

Основные полупроводниковые процессы, такие как изготовление чипов, упаковка пластин, оптическое выравнивание и вакуумный контроль, требуют строгих нанометровых пространственных данных для много-осевой сборки, выравнивания модулей, оптической калибровки и подгонки вакуумной камеры. Небольшая вибрация, температурный дрейф, намагничивание или деформация материала приводят к перекосу пластин, оптическим ошибкам и снижению выхода чипов.
Гранитные квадратные коробки, представляющие собой трехмерный многоточечный прецизионный измерительный прибор, объединяющий плоские, перпендикулярные и позиционирующие привязки, служат базовыми базами для сборки оборудования в чистых помещениях, калибровки модулей и позиционирования приспособлений. Опираясь на годы исследований и разработок сверх-прецизионных каменных компонентов, UNPARALLELED Group разрабатывает индивидуальные гранитные квадратные коробки, предназначенные для чистых полупроводниковых, не-магнитных, стабильных и виброустойчивых- сред, обеспечивая всестороннюю-систему гарантии точности, охватывающую сырье, прецизионную механическую обработку, испытания при постоянной-температуре, совместимость с чистыми помещениями и соответствие глобальным метрологическим стандартам.
1. Недостатки традиционных исходных данных для суровых полупроводниковых мастерских
Чугунные, алюминиевые сплавы и обычные квадратные коробки из мрамора не позволяют выполнить длительную-высокоточную-сборку из-за вмешательства мастерских:
Намагничивание. Металлические опорные поверхности притягивают металлический мусор, нарушая работу оптических датчиков и лазерных интерферометров и вызывая ошибки выравнивания пластин.
Термическая деформация: высокие коэффициенты теплового расширения металлов деформируют исходные поверхности из-за температурных сдвигов, что приводит к смещению калибровочных данных.
Резонанс вибрации: низкое демпфирование металла усиливает вибрацию от конвейеров, вакуумных насосов и роботов, что затрудняет контроль перпендикулярности и параллельности.
Загрязнение: обычные каменные и металлические покрытия выделяют ионы металлов и летучие вещества, что не соответствует стандартам SEMI и создает риск загрязнения пластин.
Плохая фиксация точности: чугун ржавеет, а алюминий легко деформируется; изношенные исходные данные требуют частой повторной калибровки и задерживают поставку оборудования.
2. Гранит высокой плотности UNPARALLELED®-: стабильный фундамент
Во всех квадратных коробках из полупроводникового гранита используется-черный гранит UNPARALLELED® собственной разработки (3100 кг/м³), обладающий превосходными физическими характеристиками по сравнению с европейским/американским гранитом и дешевым мрамором:
Не-немагнитный, без осадков металлов: не-металлический, пылеотталкивающий-, устойчивый к кислотам и щелочам (pH 1–14), не реагирует с фоторезистом или электролитами, полностью соответствует требованиям SEMI- и нулевым рискам загрязнения пластин.
Низкое тепловое расширение: коэффициент составляет всего 1/3 от стали; незначительные колебания температуры не деформируют опорные элементы, обеспечивая стабильное оптическое выравнивание и выравнивание пластин.
Высокое гашение вибраций: плотная кристаллическая структура поглощает более 90 % высокочастотной-вибрации, изолируя насосы, роботов и лазерное оборудование, удерживая много-осевые ошибки в пределах суб-микронов.
Прочность и долговечность-точность: твердость 6–7 по шкале Мооса устойчива к истиранию и ударам. Необработанный камень подвергается естественному старению в течение миллиардов лет без остаточного напряжения, сохраняя точность более 30 лет и сокращая затраты на замену и повторную калибровку.
3. Полная прецизионная обработка нанометровых 3D-базов.
Для сборки полупроводников требуются 3D-привязки X/Y/Z с нанометровой плоскостностью, перпендикулярностью, параллельностью и расположением отверстий. UNPARALLELED обеспечивает полный точный контроль:
Длительное-естественное старение на каменном складе площадью 20 000 кв.м устраняет внутреннее напряжение и предотвращает долговременную-деформацию.
Цех с полупроводниковой атмосферой 10 000 м²-постоянной-температуры и пыли-, с бетонными полами военного назначения толщиной не менее 1000 мм, виброизоляционными траншеями размером 500×2000 мм и бесшумными кранами для стабилизации точности обработки.
Двойная обработка: четыре больших шлифовальных станка с ЧПУ стоимостью 500 долларов США,000+ Тайвань Наньтун для чернового шлифования; Опытные мастера 30+ года вручную-обрабатывают опорные элементы с микронной тактильной чувствительностью, чтобы достичь нанометровой точности. Клиенты со всего мира прозвали это "ходячими электронными уровнями".
Настраиваемые конструкции: регулируемые размеры, резьбовые отверстия, пазы для крепления, вакуумные столы и воздушные-плавающие основания подходят для аппаратов для склеивания пластин, модулей литографического выравнивания, стоек AOI, вакуумных камер и шести-платформ для выравнивания по шести осям.
4. Метрология мирового-класса для всемирно признанных исходных данных
Следуя принципу «Точные измерения обеспечивают точность производства», каждая гранитная квадратная коробка перед отправкой проходит полную 3D-проверку:
Испытательное оборудование премиум-класса: немецкие индикаторы Mahr 0,5 мкм, тестеры шероховатости Mitutoyo, швейцарские электронные уровни WYLER, британские лазерные интерферометры Renishaw для проверки плоскостности, перпендикулярности, параллельности и допусков отверстий.
Прослеживаемая калибровка. Все измерительные инструменты имеют официальные сертификаты метрологических институтов Цзинань и Шаньдун, полностью прослеживаемые Китайским национальным институтом метрологии, соответствующие глобальным заводским калибровкам и стандартам приемки сторонних-сторон.
Совместимость с мировыми стандартами: Соответствует стандартам DIN, ASME, JIS, GB, BS, ГОСТ, EIE. Зарубежным производителям полупроводников не требуется вторичная калибровка, что решает проблему трансграничной несовместимости стандартов.
5. Полная производственная цепочка поддерживает массовую индивидуальную доставку
Группа имеет штаб-квартиру в Цзинане, недалеко от порта Циндао, что обеспечивает удобную экспортную логистику. Группа владеет двумя заводами общей площадью 200 000 квадратных метров и четырьмя специализированными линиями по производству гранита для быстрой массовой доставки полупроводниковых квадратных коробок. Сверх-большие каменные компоненты (100-тонн, длина 20 м) могут быть адаптированы для большого портального сборочного оборудования и модулей передачи пластин с длинным ходом.
6. Профессиональная команда талантов оптимизирует технологию полупроводниковых базовых данных
Весь персонал, занимающийся исследованиями и разработками, шлифовкой и контролем качества, проходит систематическое метрологическое обучение с ежегодными обновлениями мировых стандартов метрологии полупроводников и стандартов сборки в чистых помещениях. Оптимизированная полировка без пыли-предохраняет поверхности коробки от пыли и остатков фоторезиста, что упрощает обслуживание в чистых помещениях.
7. Широкие сценарии применения полупроводников.
Гранитные квадратные коробки UNPARALLELED, обладающие преимуществами в качестве материала, точности, чистоте, устойчивости к вибрации и совместимости с мировыми стандартами, являются основными 3D-измерителями для всего высокотехнологичного полупроводникового оборудования:
Литография и оптическое выравнивание: Калибруйте рабочие столы, кронштейны для линз и стойки ПЗС-матриц для точного оптического пути и выравнивания пластин.
Упаковка и склеивание пластин: 3D-позиционирование склеивающих головок, держателей пластин, модулей давления и вакуумных всасывающих устройств.
Оптический контроль: много-калибровка исходных данных для стоек с оборудованием AOI, промышленных компьютерных томографов и рентгеновских-лучей.
Вакуумные платформы и платформы прецизионного перемещения: калибровка сборки для ступеней линейного двигателя XY, шестиосевые платформы точной-настройки и вакуумные камеры с перовскитным покрытием.
Лаборатории метрологии полупроводников: Калибровка исходных данных для лабораторного оборудования и прецизионных приспособлений в мировых метрологических институтах и ​​университетах.
Наша продукция продается по всему миру, снабжая компании из списка Fortune 500, включая GE, Apple, Samsung, Bosch, THK, HIWIN, MISUMI, Akribis. Мы сотрудничаем в исследованиях прецизионных полупроводниковых базовых данных с Национальным университетом Сингапура, Наньянским технологическим университетом, Стокгольмским университетом, метрологическими институтами Европы, Америки и России, Чжэцзянским университетом, Сианьским университетом Цзяотун и Китайской академией наук, получив мировое признание в отрасли.
Заключение
Мировая полупроводниковая промышленность стремится к меньшим технологическим узлам, более высокой точности и большей производительности. Стабильность исходных данных, чистота, устойчивость к вибрации и долгосрочное-сохранение точности напрямую определяют выход стружки и загрузку производственной линии.
Группа UNPARALLELED придерживается ценностей открытости, инноваций, честности, единства и духа смелости взять на себя инициативу; Смело внедряйте инновации. Мы продолжаем совершенствовать решения для-модификации гранита высокой плотности, обработки поверхности без полупроводниковой пыли-и нанометрового 3D-шлифования и тестирования для литографического, упаковочного и инспекционного оборудования нового-поколения.
В будущем мы будем расширять нашу деятельность в сфере прецизионных полупроводниковых опорных деталей, поставляя стандартизированные, сверх-чистые, вибро-устойчивые, глобально совместимые гранитные 3D-измерители, а также решения по обеспечению полной точности сборки для мировых производителей полупроводников, помогая производителям микросхем преодолеть ограничения точности и идти к цели стать надежным и любимым производителем сверхточных-класса мирового-класса.