Производство полупроводников требует чрезвычайно высокой точности.
Современные системы контроля пластин и оборудование для производства полупроводников часто работают с допусками на микронном или нанометровом- уровне. Даже небольшая термическая деформация или вибрация могут повлиять на производительность системы.
По этой причине прецизионные гранитные станины стали важным компонентом полупроводникового оборудования.
Почему полупроводниковые машины используютГранитные конструкции
Гранит предлагает несколько важных преимуществ для полупроводниковых применений:
- Отличная термическая стабильность
- Превосходное гашение вибрации
- Долгосрочная-стабильность размеров
- Не-магнитные характеристики
- Коррозионная стойкость
Эти свойства помогают полупроводниковому оборудованию поддерживать стабильную точность позиционирования.
Термическая стабильность полупроводникового оборудования
Производство полупроводников требует строгого контроля размеров.
Прецизионный гранит имеет низкий коэффициент теплового расширения, что помогает уменьшить деформацию, вызванную перепадами температур.
Типичное тепловое расширение гранита:
4,6×10⁻⁶/градус
Эта стабильность важна для:
- Системы контроля пластин
- Этапы литографии
- Полупроводниковое метрологическое оборудование
- Платформы точного позиционирования
Плоскостность и точность позиционирования
Полупроводниковые системы требуют чрезвычайно высокой плоскостности и точности движения.
Типичные характеристики точности включают в себя:
| Параметр | Типичное значение |
|---|---|
| Плоскостность | 2 мкм/1000 мм |
| Параллелизм | 3μm |
| Поверхностная обработка | Ра 0,4 |
| Стабильность позиционирования | Суб-микрон |
Прецизионные гранитные основания помогают поддерживать стабильное позиционирование во время непрерывной работы.
Применение гранитных структур в полупроводниковой промышленности
Гранитные конструкции широко используются в:
| Приложение | Функция |
|---|---|
| Системы контроля пластин | Стабильная измерительная платформа |
| Литографическое оборудование | Точная поддержка движения |
| Метрологические системы | Высокая точность измерения |
| Полупроводниковые каскады | Структура позиционирования движения |
| Оборудование для оптического контроля | Виброизоляция |
Почему выбирают UNPARALLELED®
UNPARALLELED® производит сверхточные гранитные компоненты для полупроводниковой и высокотехнологичной-промышленности.
Наши производственные возможности включают в себя:
- Крупногабаритная обработка гранита
- Прецизионное шлифование и притирка
- Сложная прецизионная сборка
- Структурные системы полупроводникового-класса
- Сверхточный контроль допуска
Наши гранитные конструкции используются в передовых полупроводниковых и метрологических приложениях по всему миру.
Часто задаваемые вопросы
Почему гранит используется в полупроводниковом оборудовании?
Гранит обеспечивает термическую стабильность, гашение вибраций и стабильность размеров для высокоточных полупроводниковых систем.
Какой ровности можно добиться с помощью полупроводниковых гранитных оснований?
Сверхточные гранитные основания могут достигать микронной-плоскости в зависимости от требований применения.
Гранитные основания лучше металлических конструкций?
Для сверхточных применений гранит обычно обеспечивает лучшую термическую стабильность и гашение вибраций, чем многие металлические конструкции.